HRG300 既可以對(duì)大尺寸晶圓(300 mm)進(jìn)行單 枚加工,也可以對(duì)小直徑工件進(jìn)行多枚同時(shí)加工。
特征

規(guī)格
| NO. | 項(xiàng)目 | HRG300 |
| 高剛性研磨機(jī) | ||
| 1 | 外形尺寸和重量 | 尺寸:1540(W)X1880(D)X2010(H)重量:3700kg |
| 2 | 最大加工直徑(mm) | 300 |
| 3 | 磨輪直徑(mm) | 300 |
| 4 | 磨輪轉(zhuǎn)速(rpm) | 3600 |
| 5 | 工作臺(tái)轉(zhuǎn)速(rpm) | 400 |
| 6 | 主軸功率(Kw) | 11 |
| 7 | 工作臺(tái)功率(Kw) | 2 |
| 8 | 全自動(dòng)監(jiān)測(cè) | 實(shí)時(shí)測(cè)量治具(支持多片同時(shí)加工) |
| 9 | 研磨精度(μm) | 0.1 |