深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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推薦產(chǎn)品?????
商品描述
晶圓轉(zhuǎn)移機是一種自動機器，可在兩個方向上將晶圓互相轉(zhuǎn)移，它還支持面對面轉(zhuǎn)載和背對背轉(zhuǎn)載。
特征
防止粒子產(chǎn)生
通過驅(qū)動電機防止產(chǎn)生顆粒。
獨特的晶圓卡盤結(jié)構(gòu)
我們獨特的晶圓卡盤結(jié)構(gòu)可抑制晶圓傳輸過程中的晃動，并且向石英舟的傳輸傳輸可靠，因此即使是復(fù)合晶圓等重物也可以準確且安全地傳輸。
多種選擇
? 靜電消除器（離子發(fā)生器） ? 全覆蓋 ? 區(qū)域傳感器
帶全覆蓋區(qū)域傳感器的傳送機
安全是第一要務(wù)！小投資讓您高枕無憂！！！
透明蓋板安裝在除正面之外的四個側(cè)面（右側(cè)、左側(cè)、頂部和背面）上。
工作空間前部安裝了區(qū)域傳感器，如果您在操作過程中不小心試圖移除運載船，它將
在緊急情況下停止。這是一個完美的安全措施。
規(guī)格
| 模型 | OTS-15  （獨立式） | OTD-25  （桌面型） | OTD-35  （桌面型） |
|---|---|---|---|
| 級數(shù) | I 階段 （盒式磁帶 x 1） | Ⅱ階段 （卡帶 x 1，船 x 1） | Ⅲ階段 （卡帶 x 2，船 x 1） |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | 電機驅(qū)動（伺服） | ||
| 傳輸格式 | 1ca 在不同類型的卡帶之間傳輸 | 1ca 到 1bt 雙向傳輸 | 2ca 到 1bt 雙向傳輸 |
| 轉(zhuǎn)載 速度 | 最少 40 秒 + 磁帶更換時間 | 最少 50 秒（可調(diào)） | 最少 90 秒（可調(diào)） |
| 設(shè)備尺寸 | W400 × D510 × H1187 (mm) | W433 x D490 x H625（毫米） | W629 x D490 x H625（毫米） |
| 安全機制 | 有無卡匣、有無晶圓、過載檢測、異常報警、緊急停止 | ||
| 電源供應(yīng) | AC200V (50 / 60Hz) | ||
