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深圳高卓斯科技有限公司

SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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OTS-15
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OTS-15

落地式

1 升降臺

用于一個不同晶圓盒移載


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商品描述

落地式

1 升降臺

用于一個不同晶圓盒移載



規(guī)格

模型
OTS-15
OTS-15
(獨立式)
OTD-25
OTD-25
(桌面型)
OTD-35
OTD-35
(桌面型)
級數(shù)I 階段
(盒式磁帶 x 1)
Ⅱ階段
(卡帶 x 1,船 x 1)
Ⅲ階段
(卡帶 x 2,船 x 1)
驅(qū)動系統(tǒng)電機驅(qū)動(伺服)
傳輸格式1ca 在不同類型的卡帶之間傳輸1ca 到 1bt 雙向傳輸2ca 到 1bt 雙向傳輸
轉(zhuǎn)載
速度
最少 40 秒
+
磁帶更換時間
最少 50 秒(可調(diào))最少 90 秒(可調(diào))
設(shè)備尺寸W400 × D510 × H1187 (mm)W433 x D490 x H625(毫米)W629 x D490 x H625(毫米)
安全機制有無卡匣、有無晶圓、過載檢測、異常報警、緊急停止
電源供應(yīng)AC200V (50 / 60Hz)


獲取產(chǎn)品詳細資料