| 模型 | 全自動  | 半自動/手動  | ||
|---|---|---|---|---|
轉(zhuǎn)速 _ | 2-6英寸 | 最長 1,000 分鐘-1 | ||
| 8 英寸 | ||||
| 12英寸 | 最長 700 分鐘-1 | |||
設備尺寸 | 2-6英寸 | 750 x 1350 x 1100 (毫米) | 750 x 1430 x 1100 (毫米) | |
| 8 英寸 | 850 x 1450 x 1150 (毫米) | 850 x 1530 x 1150 (毫米) | ||
| 12英寸 | 1050 x 1700 x 1170 (毫米) | 1050 x 1780 x 1170 (毫米) | ||
深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
當前位置：?
推薦產(chǎn)品?????
商品描述
獨立旋轉(zhuǎn)干燥機（晶圓離心干燥機）
最大晶圓尺寸：12英寸
氣流的流動效率更高，下流導致的干燥度也得到了改善。結(jié)果，進一步縮短了干燥時間。
徹底消除了粉塵產(chǎn)生因素。請參閱粒子評估結(jié)果。
機身的設計理念是“不振動的甩干機”。它提供由專有振動分析技術(shù)支持的高質(zhì)量旋轉(zhuǎn)性能。
采用獨創(chuàng)的自動振動抑制機構(gòu)（自動平衡器FAB）和晶圓裂紋自動檢測機構(gòu)等選件，使用更加方便。
我們在硅和基板以外的材料方面取得了各種成就。
選項
自動平衡調(diào)整裝置
通過在旋轉(zhuǎn)干燥機的旋轉(zhuǎn)部安裝利用長年培育的振動分析技術(shù)開發(fā)的旋轉(zhuǎn)干燥機自動平衡裝置，即使晶圓片數(shù)設置不均、旋轉(zhuǎn)也能自動抑制振動。設備。
特別是在因晶片種類不同而重量不同的情況下，或者裝載的晶片數(shù)量不斷變化的情況下，效果顯著。
推薦用于您想要消除振動的情況，盡管重量或晶片數(shù)量沒有太大差異，或者由于使用不同英寸尺寸的晶片而發(fā)生振動。
ULPA. 帶離子發(fā)生器的滑動開/關(guān)蓋 [高通量]
由于蓋子是滑動式的，機器人可以在設備上自由移動，時間大大縮短，包括打開和關(guān)閉蓋子所需的時間。
?縮短蓋子的打開和關(guān)閉時間
?機器人的移動空間幾乎沒有限制
?在開口的正上方站立，可以在打開蓋子的同時裝載晶片
規(guī)格
| 姓名 | 回轉(zhuǎn)式下流式旋轉(zhuǎn)干燥機 | |
|---|---|---|
| 目標工作 | 2-12英寸 | |
| 電源供應 | AC200V (50 / 60Hz) | |
| 軸封 | 防塵密封和強制吸風組合使用 | |
| 搖籃 | 可安裝2個或4個 | |
| 速度設定 | 一檔、二檔 | |
| 材料 | 轉(zhuǎn)盤和支架均為SUS316L（EP） | |
| 外部的 | PVC | |
| 安全機制 | 異常振動自動停止 防止過載運行 | |
| 上升時間 | 12in ... 30 秒內(nèi) / 8in 或更少 ... 25 秒內(nèi) | |
